一、产品特点及用途

1.产品特点

该设备是一种新型工业级干燥设备，采用长轴耐高温大功率轴流风机，不锈钢涡轮扇叶，结合独特设计风道，智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热，形成温度均匀的高温热风，对箱体内部进行加热，确保烘箱内部达到理想的温度环境。

2.产品用途

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

二、产品详细参数

1.箱体结构

1.1.内部材质：采1.5mm厚SUS304镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE，满焊处理，可避免保温棉泄漏而污染产品。

1.2.外部材质：采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，耐刮伤，造型美观。

1.3.保温材质：采用120K高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-120mm，保温性能好。

1.4.箱门结构：箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧，保温性能好，抗老化，环保无污染。

1.5.载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。

2.温度控制系统：采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面，定值/程序（程控100段）两种控制模式，带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确

保产品运行安全。

3.控温方式

3.1.讯号来源：采日制进口CA感应棒±0.5%。

3.2.输出被控组件：SSR固态无节点输出，确保加热功率精准。

4.箱内热风循环系统

4.1.送风方式：箱内采用单向水平运风，两侧风道内强压送风。

4.2.风道结构：风道两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度，确保箱内温度均匀性。

4.3.送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳，噪声≤65dB。

4.4.送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

4.5电加热系统：采用覆套式304不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套，高绝缘导热改性氧化镁浇筑，无名火，安全不漏电）

5.氧含量控制系统

5.1氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路，各向箱内提供100L/min+200L/min的氮气，每路配套进口电磁阀，双流量自动切换，在箱内达到无氧环境后，自动切换至低流量氮气，大大节省氮气消耗量，也可根据工艺制程要求，自行设定，满足多种工艺需求。

5.2排氧时间≤30 min，带耐高温氧含量控制仪，氧化锆氧含量传感器，耐高温自吸泵一套，可实时检测氧含量并显示实际数值，配备氧含量超标报警功能。

6.整机安全保护系统

6.1.采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能（详见技术参数）。

6.2.箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）。

6.2.1.超温防止器（独立限温，超温断电）。

6.2.2.相序保护（欠压欠相保护）。

6.2.3.马达过电流保护。

6.2.4.控制线路保险丝。

6.2.5.电热过电流保护。

6.2.6.无熔丝开关。

无氧烘箱规格一览表：

备注：

1.以上所有机型外观尺寸仅供参考，实际尺寸以实物为准。

2.产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制。

选配组件：

1.程序多段控温：可配置程序型温度控制器，最大实现100段程序控温。

2.测试孔：可在侧面加装Φ50mm测试孔。

3.无纸多点温度记录仪：可配置无纸多点温度记录仪（4/6/9/12通道），可实时监控记录温度变化.

4.快速降温功能：风冷+水冷。

5.可加装MES系统。