一、产品特点及用途

1.产品特点

该设备是一种新型工业级洁净干燥设备，采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计，通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。

2.产品用途

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

二、产品详细参数

1.箱体结构

1.1.内胆材质：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板，满焊处理，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE1。

1.2.外壳材质：外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，也可选用不锈钢材质。

1.3.保温材质：采用120K高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-150mm，保温性能好。

1.4载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。

2.温度控制系统：日本欧姆龙智能温度控制器，定值恒温控制模式，PID自动演算，带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确保产品运行安全。

3.控温方式

3.1.讯号来源：采日制进口CA感应棒±0.5%。

3.2.输出被控组件：SSR固态无节点输出，确保加热功率精准。

4.箱内热风循环系统

4.1.送风方式：箱内采用水平送风或垂直送风。

4.2.风道结构：风道两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度，确保箱内温度均匀性。

4.3.送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳，噪声≤65dB。

4.4.送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

4.5电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套，高绝缘导热改性氧化镁浇筑，无名火，安全不漏电）

5.洁净循环系统

5.1采用平面水平后边送风后，经耐高温高效过滤器H.E.P.A装置往前门(特殊风道设计)方向送风，0.3um直径PARTICLE，过滤效率99.97%，箱内洁净度可达Class 100。

5.2排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温。

5.3压差计：进口压差计，可实时监控H.E.P.A工作状态。

5.4配全自动开关风门，烘烤过程风门紧闭，确保内部对外封闭，防止外部排风PARTICLE回尘污染

6.整机安全保护系统

6.1.采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能（详见技术参数）。

6.2.箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）。

6.2.1.超温防止器（独立限温，超温断电）。

6.2.2.相序保护（欠压欠相保护）。

6.2.3.马达过电流保护。

6.2.4.控制线路保险丝。

6.2.5.电热过电流保护。

6.2.6.无熔丝开关。

洁净烘箱规格一览表：

备注：

1.以上所有机型外观尺寸仅供参考，实际尺寸以实物为准。

2.产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制。

选配组件：

1.程序多段控温：可配置程序型温度控制器，最大实现100段程序控温。

2.测试孔：可在侧面加装Φ50mm测试孔。

3.无纸多点温度记录仪：无纸多点温度记录仪（4/6/9/12通道），可实时监控记录温度变化状况。

4.可加装MES系统。

5.日本三菱PLC+台湾威纶触摸屏人机交互界面。