热门关键词:
单工位手套箱 单面双工位手套箱 真空烘箱 洁净烘箱 无氧烘箱
一.核心指标与适用范围
▸ 核心指标:MAX 500℃ | Vacuum<1×10⁻⁴Pa | O₂<5ppm | Class 3
▸ 处理工件:光刻涂胶前晶圆 / 金属件 / 陶瓷件 / 法兰件 / 光学件 / 真空腔体 / 密封件 / 电子束蒸发源 / 离子注入部件 / GaAs · GaN 基板 / 蓝宝石基板 / 光学镀膜夹具
▸ 典型工艺:HMDS硅烷化处理 / 真空除气(Outgassing)/ 真空热处理 / 干燥 · 脱泡 / 钎焊前处理 / 镀膜前预处理 / 高释气工艺

产品概述
风循环均匀高效
利用强制通风作用,烘箱内设有管道,温度均匀度1.5%,物料干燥均匀。
快速升温,控温精准
采用进口温控系统,PID自动演算,控温精度±0.5℃
智能设计,自动运行
微电脑智能化、精准恒温、断电记忆、全自动运行。
斐娅达 · 专业提供各类手套箱/烘箱定制
为企业实现从概念设计到交付全流程服务
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产品技术规格书
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