| 01
半导体金属零部件 清洗后的真空除气、干燥及后续制程前处理。 | 02
晶圆与化合物基板 光刻涂胶前晶圆，以及GaAs、GaN和蓝宝石基板处理。 | 03
真空腔体与密封件 降低材料表面及内部残余气体对真空环境的影响。 |
| 04
光学件与镀膜夹具 镀膜前预处理、真空热处理及工装释气。 | 05
离子注入与蒸发部件 电子束蒸发源、离子注入部件等真空制程配套。 | 06
定制释气工艺 支持工艺配方、数据记录、RGA接口及通信功能定制。 |
产品视频
最终配置以技术协议为准。
| 参数 | FYD-FS-LV-HV500 | FYD-FS-HV800 | FYD-FS-HV1000 | FYD-FS-HV2000 |
|---|
| 温度范围 | 常温+10℃～650℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃ |
| 温度均匀度 | ±0.5℃ |
| 升温速率 | ＜10℃/min |
| 外壳温度 | ＜常温+10℃ |
| 极限真空度 | 1×10⁻⁴Pa～100000Pa |
| 真空系统 | 螺杆干泵＋罗茨泵＋分子泵＋真空计 |
| 容积 | 180L | 360L | 480L | 800L |
内胆尺寸
W×D×H | 600×500×600mm | 600×600×1000mm | 800×600×1000mm | 1000×800×1000mm |
外部尺寸
W×D×H | 960×690×1460mm | 960×790×1780mm | 1160×790×1780mm | 1320×1050×1780mm |
| 层板数量 | 2块 | 2块 | 3块 | 3块 |
| 功率 | 10kW | 15kW | 18kW | 20kW |
定制说明 所有机型均可定制，包括产品尺寸、内外材质、外观结构、外观颜色、温度、均匀度、真空度、降温速率及升温速率等功能参数。 | 选配组件 ① 真空系统可定制 ② 测试孔：RGA接口 ③ 多点温度记录仪（4/6/9/12通道） ④ 数据通信：RS485、RJ45网口、USB输出口 ⑤ 电磁门锁 |
产品技术参数详解（FYD-FS-HV2000 定制机型）
| 名称及型号 |
| 名称 | 定制大型高真空释气烘箱 |
| 型号 | FYD-FS-HV2000 |
| 规格尺寸 |
| 内胆尺寸（宽×深×高） | 1400×1200×1200mm |
| 整机尺寸（约） | 2500×1800×1510mm |
| 技术指标 |
| 控温范围 | 常温+10～280℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃ |
| 温度精度 | 0.1℃ |
| 温度波动度 | ±0.5℃ |
| 极限真空度 | ≤1×10⁻⁴Pa（10⁻⁶mbar） |
| 保压真空度 | ≤1×10⁻²Pa（10⁻⁴mbar） |
| 抽真空用时 | 大气至10⁻⁶mbar用时约45min |
| 升温速率 | ＜10℃/min |
| 外壳温度 | ＜室温+15℃，炉壁大面积处高于国家标准《特殊位置参照JB/T5520-91执行》 |
| 箱体结构 |
| 结构设计 | 落地式单开门，开合角度180°，内置式真空泵，HMI位于箱体左侧；拿取高度符合人体工程学，建议腔室最高拿取高度＜1550mm。 |
| 材质 | 内胆：10mm厚SUS316L不锈钢，精8K镜面处理，Ra≈0.1μm，外部环绕型加强结构，满焊处理，内胆联结件均采用316材质；
外壳：2mm厚SUS316L不锈钢，表面金属拉丝；
保温：120K级优质高密度玻璃纤维，人工填充，厚度100mm；
门封：四氟乙烯双层密封一体成型耐高温胶条；
备注：箱体钣金、内衬、管阀联结件、固定螺栓、脚轮等均不含铜件，优先选用SUS316L材质。 |
| 门 | 双层门结构，高度可调节；内门防爆安全玻璃，外门SUS316L不锈钢金属拉丝；迫紧式门把手，SUS316L不锈钢，易开易关、密封性能佳。 |
| 玻璃视窗 | 无 |
| 载物配置 | 分5层，单层承重100KG，冲孔式层板结构，可固定移动、高度可调。 |
| 真空系统 |
| 真空配置 | 进口德国莱宝干式螺杆罗茨机组1组【抽速1200m³/h】；进口德国莱宝磁悬浮分子泵2台【抽速2200L/s】；进口德国莱宝全量程真空计1套【10⁻⁹~10³mbar】；台湾HTC高真空气动插板阀2套【DN250 ISO-F】、气动角阀3套【DN100 ISO-K】；SUS316L高真空管路、KF快拆、精密柔性波纹管；真空适配器1套、消音器2套、进排气适配器各3/4套。 |
| 抽真空方式 | 自动/手动，PLC操作一键启动。 |
| 冷却系统 |
| 配置 | 一体式冷水机1台（磁悬浮分子泵降温），避免长期负载过热停机；制冷量≥8kW（10kW余量更稳）；循环泵1.8–2m³/h@3–4bar；水箱≥40L；DN20快接进出水；外壳/水箱/管道均为304不锈钢。 |
| 补气系统 |
| 配置与方式 | 日本SMC补气电磁阀＋PLC模拟量微漏阀精准补气；PLC自动/手动双模式；气路保护防泄漏；机械式相对压力表＋手动补气球阀备份；进口瑞士全金属微漏补气阀1套；工作气按需配置空气/惰性气体/特气；进气过滤：0.1μm定制过滤器＋水分吸附罐＋三联件，VOC浓度控制＜15ppm。 |
| 加热系统 |
| 配置与控制 | 不锈钢无缝电加热管，环绕式分布于内胆外壁辐射加热；美国欧米伽四线制Pt100×2（分别连接温控仪与超温保护仪）；日本富士PID温控仪＋施耐德SSR；韩国奥托尼克斯独立超温保护仪，超限紧急切断＋报警。 |
| PLC控制系统 |
| 硬件与功能 | 三菱FX5U系列PLC；威纶MT 10寸触摸屏；温度/真空/定时控制，10组工艺配方；四级权限管理；工艺报警（温度/高真空/保压/超温/传感器断线）＋声光报警灯、蜂鸣器；RJ45（Modbus TCP）、USB数据导出、GEM（SECS/GEM）对接MES、RS232/RS485通信。 |
通过中真空预抽与高真空泵组配合，完成抽真空、升温释气、保温保压及补气降温。PLC统一管理运行步骤、报警和数据记录。
| 01
中真空预抽 螺杆干泵与罗茨泵完成腔体快速预抽。 | 02
进入高真空 联动分子泵及真空阀组达到工艺真空度。 | 03
程序升温 按设定速率升温并控制工件释气过程。 |
| 04
保温保压 维持设定温度、真空度和工艺时间。 | 05
降温与补气 按照工艺要求自然或定制降温并补气。 | 06
数据与报警 保存运行曲线，记录状态和异常信息。 |
真空、温控、数据和安全系统可根据设备规格及用户工艺需求配置。
高真空系统 螺杆干泵、罗茨泵、分子泵与真空计组成泵组。 • 中真空和高真空分阶段运行 • 真空阀组与PLC程序联动 • 泵组配置可按腔体和节拍调整 | 温度控制系统 支持按设定温度、升温速率和保温时间执行工艺。 • 控温精度±0.1℃ • 温度均匀度±0.5℃ • 多点温度记录仪可选 |
工艺与数据管理 触摸屏集中设置参数并查看设备运行状态。 • 支持工艺配方和运行曲线记录 • RS485、RJ45及USB接口可选 • 可预留RGA测试接口 | 安全保护 围绕加热、供电和运行异常设置保护及报警。 • 独立超温保护 • 漏电、短路及过热保护 • 急停与声光报警配置 |
| 不确定标准型号是否适用？ 提供工件尺寸、装载量、温度和真空度即可辅助选型 · 选型咨询 400-618-2229
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结合真实项目说明设备选型、工艺衔接和交付配置，具体方案以项目技术协议为准。
| 半导体金属零部件 · 供货北方华创、新凯来 辽宁某真空释气项目 工艺为国外引进的半导体零部件高真空制程。协助客户梳理RFQ技术需求、设备组成与选型方案，提供同类项目案例与真空工艺数据支持。 2m³高真空设备0.3m³高真空设备中真空释气设备洁净充氮烘箱
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| 清洗、干燥与释气工艺 · 供货北方华创、新凯来、中微半导体 沈阳富创与北京富创项目 清洗后的工件先通过无尘烘箱干燥，再使用真空烘箱释放工件内部残余气体。交期快、响应及时，组合工艺方案一次验收通过。 1.5m³真空烘箱×21.5m³无尘烘箱×2组合工艺方案
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| 中国电子科技集团第五十五研究所 · 晶圆研发烘烤 中电科55所高温洁净无氧项目 500℃级高温烘烤同时要求百级洁净与无氧环境。完全定制（线性升温）交付，三年质保，现场安装、测试、验收、培训。 450℃高温百级洁净无氧环境三年质保
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自建工厂，钣金加工、设备装配、整机检测全流程自主完成；瑞士激光切割、日本AMADA钣金设备，出厂逐台检测记录。
生产车间全景 |
钣金加工车间 |
设备装配区域 |
公司厂房外景 |
设备生产车间 |
烘箱设备陈列区 |
会议室 |
培训会 |
阅读室 |
CE认证
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RoHS认证
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ISO9001
| 资质与专利
另有实用新型专利、计算机软件著作权、计量校准证书等资质（证书备查）。 |
已服务100+家行业企业，覆盖半导体全产业链及科研、军工、医药、光电、新能源等领域（以下为部分列举，排名不分先后）。
| 半导体设备（8家） |
| 北方华创 | 中微半导体 | 拓荆科技 | 沈阳芯源微 | 新凯来 |
| 江苏微导纳米 | 上海微电子 | 上海凯世通 | | |
| 半导体零部件（12家） |
| 富创精密 | 新莱洁净 | 先锋精密 | 富士迈 | 托伦斯精密 |
| 航菱微 | 同芯构 | 圣创半导体 | 晶鸿精密 | 辽宁希泰 |
| 广东先导稀材 | 江丰电子 | | | |
| 晶圆制造（7家） |
| 华虹宏力 | 华润微电子 | 士兰微 | 粤芯半导体 | 华微电子 |
| 斯达半导体 | 株洲中车时代电气 | | | |
| 碳化硅/石英材料（8家） |
| 连云港太平洋半导体材料 | 湖南德智新材料 | 河北中瓷电子 | 无锡卓瓷科技 | 苏州珂玛材料 |
| 上海卡贝尼 | 苏州铠欣半导体 | 志橙半导体 | | |
| 光刻胶/电子材料（9家） |
| 江苏南大光电 | 国科天骥新材料 | 湃邦新材料 | 艾深斯科技 | 彤程新材料 |
| 晶瑞电子 | 中节能万润 | 烟台三月科技 | 湖北鼎龙控股 | |
| 科研院所（8家） |
| 中科院物理所 | 中科院上海光机所 | 中科院长春光机所 | 中科院过程工程所 | 中科院江西稀土院 |
| 清华大学 | 北京大学 | 华中科技大学 | | |
| 军工/航空航天（9家） |
| 中国工程物理研究院 | 中国电科58所 | 中国商飞 | 上海空间推进研究所 | 西安618所 |
| 中国电科21所 | 中国电科47所 | 兵器工业导航与控制技术研究所 | 中航光电 | |
| 生物医药（12家） |
| 先声药业 | 恒瑞医药 | 石药控股 | 天臣国际医疗 | 华润医药商业 |
| 中美华东制药 | 浙江海正药业 | 杜邦中国 | 健适医疗 | 药明康德 |
| 联影医疗 | 同心医疗 | 石药控股 | | |
| 光电显示（10家） |
| 京东方 | TCL华星光电 | 天马微电子 | 熊猫电子 | 维信诺 |
| 三星LG | 友达光电 | 龙腾光电 | 和辉光电 | 西安华科光电 |
| 新材料（9家） |
| 有研新材料 | 森桓新材料 | 熹贾精密 | 普利特复合材料 | 金发科技 |
| 鼎龙控股 | 维信电子 | 先导新材料 | 华为技术 | |
| 光伏新能源（8家） |
| 晶澳科技 | 比亚迪 | 超威电源 | 宁德时代 | 国轩高科 |
| 中创新航 | 卫蓝新能源 | 阳光电源 | | |
注：以上为部分合作客户列举，排名不分先后，共100余家。
Q：什么是"真空释气"？半导体零部件为什么必须做？
金属零部件在大气下会吸附并溶解气体，进入真空设备后缓慢释放，会破坏工艺真空、污染腔体，导致镀膜/刻蚀良率下降。高真空释气烘箱以"高真空＋程序加热＋补气置换"的方式，把零件内部气体在装机前逼出排走，是半导体设备零部件制造的标准工序。
Q：极限真空度能到多少？可以更高吗？
标配螺杆干泵＋罗茨泵＋分子泵三级机组，极限真空1×10⁻⁴Pa量级；如工艺需要更高真空，真空系统支持定制升级。
Q：可以定制吗？交期大概多久？
容积、尺寸、温度、真空度、内外材质、通讯接口（RS485/RJ45/USB，可预留RGA接口）均可定制。交期视配置评估，合同约定，支持现场安装、测试、验收、培训。
Q：质保和售后怎么保障？
整机质保，重点机型可协商更长质保；北京、上海、深圳、合肥、武汉、西安、成都等地设有办事中心，可就近响应。
Q：工艺有洁净或无氧要求，可以一起做吗？
可以。可提供"无尘烘箱清洗干燥＋真空烘箱释气"组合工艺，也可定制百级洁净、无氧等复合工艺烘箱。
斐娅达科技（上海）有限公司 · 高真空释气烘箱
咨询热线：400-618-2229 · 邮箱：sales@feyoda.com
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