定制大型高真空释气烘箱

FYD-FS-HV2000

规格尺寸

内胆尺寸

（宽度*深度*高度）mm

1400*1200*1200

整机尺寸（约）

（宽度*深度*高度）mm

2500*1800*1510

技术指标

控温范围

RT+10~280℃

控温精度

±0.1℃

温度精度

0.1℃

温度波动度

±0.5℃

极限真空度

≤10^-6mbar=10^-4Pa

保压真空度

≤10^-4mbar=10^-2Pa

抽真空用时

大气至10^-6mbar用时约45min

升温速率

＜10℃/min

外壳温度

＜RT+15℃，炉壁大面积处，高于国家标准《特殊位置参照JB/T5520-91执行》

箱体结构

结构设计

本机为落地式单开门，开合角度180℃，内置式真空泵，HMI位于箱体左侧。

拿取高度符合人体工程学，建议腔室最高拿取高度＜1550mm。

材 质

内胆材质：采用10mm厚SUS316L不锈钢材质，精8K镜面处理工艺，Ra≈0.1μm，外部环绕型加强结构，满焊处理，确保密封性与坚固度（内胆联结件均采用316材质）。

外壳材质：采用2mm厚SUS316L不锈钢材质，表面金属拉丝

保温材质：采用120K级优质高密度玻璃纤维保温材料，人工填充，保温性能好，防火阻燃，厚度100mm。

门封材质：采用四氟乙烯双层密封一体成型耐高温胶条、密封性好、柔软洁净无污染。

备注：箱体钣金、内衬、管阀联结件件、固定螺栓、脚轮等均不含有铜件，优先选用SUS316L材质。

门材质

采用双层门结构，高度可调节，内门采用防爆安全玻璃，外门采用SUS316L不锈钢金属拉丝。

门把手

采用迫紧式结构，SUS316L不锈钢材质，易开易关，密封性能佳，坚固耐用，确保人员使用安全；

玻璃视窗

无

载物配置

分5层，单层承重100KG，配置冲孔式层板结构，可固定移动可调节高度

真空系统

工作原理

①　基于高真空设计经验，斐娅达真空系统采用旁路系统设计，中真空和高真空系统均可独立控制。启动真空程序后，泵组联动工作，先打开预抽阀，将腔室内的真空降至50Pa,打开高真空泵组的联动主阀，快速抽真空至高真空数值。

②　每当工艺结束后，打开腔室，针对有快节拍的要求，干式螺杆罗茨机组+磁悬浮分子泵可以一直维持与工作怠速状态，程序将自动关闭两端与腔室联结阀门+管道联结阀门，腔室阀门打开后，中真空泵组预抽达到50Pa，而后联动到高真空主阀，大大节省抽真空时间，同时避免分子泵的高频启停，从而影响寿命。

③　通过快速粗抽降低整体的抽真空时间，再开启高真空，总降压时间相比市场上的设计方案总时效要快40%~50%左右。

④　该旁路系统设计可保证大量的水汽、粉尘不经过分子泵，直接通过干式螺杆罗茨机组外排，大大延长泵组系统的使用寿命，降本增效。

⑤　右侧上图为2m³腔室从大气至10^-6mbar真空度的模拟时效，相比于其他真空系统设计，斐娅达的真空系统综合耗时大幅减少。

⑥　右侧下图为旁路系统和直连系统的设计示意图。结合斐娅达的程序逻辑+算法调节，可实现精准高效的真空度及用户制程工艺管控。

真空配置

由真空计、真空泵组、电磁阀、真空启动角阀、联结管路等组成，主要作用是真空置换气体等及抽走残余的介质。

真空泵（中真空）：进口德国莱宝干式螺杆罗茨机组1组【抽速1200m³/h】

真空泵（高真空）：进口德国莱宝磁悬浮分子泵2台【抽速2200L/s】

真空计：进口德国莱宝全量程真空计1套【显示量程10^-9mbar~10³mbar】

高真空插板阀：台湾HTC高真空气动插板阀2套【真空法兰：DN250ISO-F】

高真空气动角阀：台湾HTC高真空气动角阀3套，用于真空系统的通断，波纹密封，耐真空性能优异【真空法兰：DN100ISO-K】

真空管路联结：配置SUS316L不锈钢高真空管路、KF系列快拆真空、精密柔性真空波纹管、保证绝佳的气密性（材质选型SUS316L）。

真空适配器1套，消音器2套，进气口适配器3套，排气口适配器4套

抽真空方式

自动or手动抽真空，可通过PLC操作，一键启动

冷却系统

功能

用于真空系统中磁悬浮分子泵的降温需要

配置一体式冷水机1台，避免长期负载工作触发过热保护并停机，影响生产计划。

制冷量：≥ 8 kW（10 kW 余量更稳）

循环泵：1.8–2 m³/h @ 3–4 bar

水箱容量：≥ 40 L

进出水接口：DN20 快插（配软管即可）

外壳材质为304不锈钢，水箱+管道材质为304不锈钢

补气系统

功能

用于在真空置换过程后的补气，将腔室内的真空度恢复到指定环境。主要由气源、控制阀和特气管道组成。

补气电磁阀：进口日本SMC品牌，用于补气系统的通断，压力采用PLC模拟量调控微漏阀，实现精准搞补气。

补气方式

PLC自动控制/手动控制

安全防护

气路保护：确保气路系统的安全运行，防止气体泄漏或压力异常

手动补气阀

作为自动失效时的备份【机械式相对压力表+手动补气球阀】

进口瑞士全金属微漏补气阀1套，模拟量控制

工作气

根据需要用户配置空气、惰性气体或其他特气。

进气过滤

进气过滤：加装定制过滤器（过滤精度0.1μm）、加装水分吸附罐（可重复烘烤除水再利用）、加装三联件（用于油水过滤）。

实现对VOC中碳氢化合物的过滤，浓度控制＜15ppm

加热系统

加热元件

电热管：采用不锈钢无缝电加热管，具有高效的传热性能，安全性高，环保无污染。

分布：采用环绕式加热的形式，将加热元件分布于内胆外壁，实现产品的辐射加热，一定恒温时间下，提高真空环境下腔室的温度均匀度。

温度传感器

铂电阻（Pt100）：进口美国欧米伽四线制PT100铂电阻高精度探头。

数量：2个，分别连接温控仪和超温保护仪。

加热控制

控制方式：

PID控制：采用日本进口富士温控仪，通过比例（P）、积分（I）和微分（D）算法，精确控制加热元件的功率，使温度保持在设定值附近，。

固态继电器（SSR）：采用进口施耐德品牌，用于控制加热元件的通断，响应速度快，无机械磨损。

控制信号：温度传感器的输出信号被送入PLC控制系统，PLC根据设定值和实际温度值计算控制信号，驱动SSR控制加热元件的功率。

超温保护仪

独立于加热系统和PLC控制系统运行，可独立监控温度并紧急切断加热系统，可实现温度超限时的紧急切断+报警功能。
  超温保护仪：韩国进口奥托尼克斯温控仪。

PLC控制系统

组成

PLC控制系统是烘箱的“大脑”，负责协调加热系统、补气系统、真空系统、用户界面等各个部分的工作。

1. PLC硬件

型号：三菱FX5U系列

2. 控制程序

主要功能：

温度控制：根据温度传感器的反馈信号，通过PID算法控制加热元件的功率，使温度保持在设定值。

真空控制：根据真空计的反馈信号，通过真空阀门控制真空泵的通断，使真空度保持在设定值。

定时控制：设置加热时间和保温时间，真空时间，自动控制烘箱的运行过程。

报警功能：当温度异常或设备故障时，发出声光报警信号（温度超限报警、停机报警）。

数据记录：记录温度变化曲线和运行参数，便于后续分析。

用户界面：通过触摸屏或按键输入设定参数，显示当前运行状态等信息。

3. 用户界面

触摸屏：10寸威纶MT系列，操作方便，显示直观，支持图形化界面。

功能：

参数设置：用户可以设置目标温度、加热时间、真空度、保温时间等参数。

工艺流程设定：按照相关工艺要求设定时间及温度，提供10组工艺配方设定（可用户定制）

状态显示：实时显示当前温度、运行状态、报警信息等。

操作控制：启动、停止、暂停等操作。

软件控制：自动运行、手动控制、参数设定、历史数据记录。当按下自动运行键后，画面转换到运行画面，显示当前的工艺状态，运行时间等，同时系统开始运行。

4. 权限管理

提供四级权限功能。

5. 报警功能

工艺报警：报警信息提示。包括温度报警、高真空报警，保压报警，不喷液报警、超温报警、传感器断线报警等

配置声光报警灯和蜂鸣器，分贝可调节，颜色显示可互锁和调节。

6. 通信功能

提供RJ45 接口：支持以太网连接，用于 Modbus TCP 通信。

提供USB 数据导出接口：支持数据导出功能。

支持 GEM（SECS/GEM）通信标准，用于与 MES 系统的高效数据交换和设备控制，可通过RS232/RS485 接口通信。

支持 Modbus TCP 通信协议，通过 RJ45 接口实现设备的远程监控和控制。

安全保护系统

功能

漏电保护：系统电路短路会跳电，停止系统供电。

超温保护：温控器超温或失温，PLC报警，并停止加热

短路保护：防止加热元件短路时损坏电源或引发安全事故。

安全按钮：安全急停开关

状态指示：三色指示灯，异常时报警提示

过热保护：当温度超过设定的安全范围时，过热保护装置会自动切断加热元件的电源，防止设备损坏或火灾。